四(二乙氨基)铪
产品类别:
催化剂及助剂/催化剂/其它工业催化剂英文名称:
Tetrakis(diethylamino)hafnium(IV)CAS NO:
19824-55-6分 子 量:
467.0056EC NO:
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中文名：四(二乙基氨基)铪(IV) 外文名：Tetrakis (diethylamino) hafnium（IV） 化学式：Hf[N(CH2CH3)2]4 分子量：467.01 CAS号：19824-55-6 熔点：-68 °C 沸点：130 °C 闪点：50 °F 密度：1.249 g/mL at 25 °C(lit.) 外观：黄色液体 存储条件：无水无氧
| 品名: | 四(二乙氨基)铪 |
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| 用途: | 四(二乙基氨基)铪(IV)在薄膜沉积领域可作为CVD、ALD的主要原材料，用于沉积铪的前驱物，制备铪氧化物薄膜，可以用于COMS和下一代DRAM的高k绝缘材料；应用于新型阻变/忆阻器件(RRAM)；应用于铁电存储器件(FeRAM)、铁电场效应晶体管(FeFET)、铁电负电容晶体管(NC-FET)、铁电隧道结等新功能器件；替代二氧化硅，作为金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的栅极。 |
| 别名 | 四(二乙基胺基)铪(IV);四(二乙氨基)铪 |